2016-06-30 ADVANTAGEイオン源分解洗浄 ADVANTAGEメンテナンス イオン源洗浄 フィラメント交換 サーモ技術者 プレスプリット 2016.6.28-30 サーモ技術者によるイオン源洗浄および調整 04プレートがかなり汚れていて通電しないほど。 調整およびプレスプリッターの交換をお願いした。