2010/8/27 CO２のフォーカスが安定しない 2010/10/11 HVのふらつきがみられる サーモの技術者にみてもらった。（初年度無料） 2010/11/11-12 Ion Source Control Unit交換→HVのふらつきは収まったが、ピークは乱れるまま。 イオン源の分解洗浄→ノイズ未解決 …