MASS 共同利用 メンテナンス記録
2016/10/26 プレスプリット アセトン洗浄 2016/11/9 SplitのON/OFFでN2がダラダラ戻るのは「ソレノイドバルブのリーク」 使っていない RefSO2のバルブ(右上)と漏れているSplitのバルブを交換 リークがあるのはこれの一番右 外したところ。 キャピラリーは…
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