イオンソース洗浄をサーモの技術者にお願いしました。 トラップの石英リング、スペーサーが割れていました。 出力あまりあがらず。。。 ４月になってから完全に割れている石英スペーサーを購入。 2017-4-17 サーモ技術者に来訪願い、交換していただいた。 出…