フィラメント交換
HV落ちと関係あるかわからないが、イオンソースを開けて、チェック。 開ける際、左上のボルトだけが緩かった。（残り３つは締まっていた） 真空度は問題なかったけど。 外観を眺めても、どこかが接触しているとか、みてわかる場所でパーツが外れている等は見…
Box/Trapがどんどん偏ってきた。 ちょうど停電前で停止なので、交換。 前回はイオンソース洗浄2021/3/19の時に交換しているので11ヶ月。 PLUS イオンソース洗浄 - MASS共同利用 その前は2020/3/10, 2019/3/15, 2018/2/14, 2017/3/24, 2016/2/9 見事な寿命。 …
先月の法定停電後立ち上げたらBox 0.57 Trap 0.93 とかなり偏っていました。 そろそろかと思っていたら3月6日にフィラメント切れました。 幸い利用者がいなかったので、本日交換。 上部を上からみたところ。 黒こげ！ 来年度こそ、イオンソース洗浄をおねが…
今週20日の法定点検 全館停電にむけて機械の電源を落とす。 まだ切れていないけど、Advのフィラメント交換を行う。 取り出したところで違和感。 Trap 側の下のケーブルが抜けている！！ 2016年にTrap側を外したことがあるが、簡単には外れない場所です。 し…
5月5日 真空度 3.0 × e-6 emissionが切れていた！！ 前回のフィラメント交換から３ヶ月経っていません！！ 前回EA利用者終了から約1週間ですが、連休で人がいない間に切れていました。 真空度が低く、終了後にニードルバルブが完全にしまっていなかったのが…
2019.3.14 朝はemissionついていましたが、夕方ランプがオレンジに。 最近の交換頻度は 2016.2.9 V15使用 2017.3.24 イオンソース洗浄 2018.2.14 V18使用 2019.3.15 V21使用 見事に約１年です。 先月22日に停電前に見た時、Box Trapがフラフラしていました。…
24日に法定点検および電気設備の更新に伴う全館停電がありました。 このため、事前に完全停止させておきました。 この機会にメンテナンス。 PLUS オイルリザーバの交換 左： 新しいもの 右： １年間使用済み それなりには汚れています。 Advantage フィラメ…
現在利用者分析中のPLUSですが、今朝みたらemissionが切れていました。 Box Trap 1/11 0.74 0.76 1/23 0.70 0.80 2/13 0.60 0.89 やはり動き出すと１ヶ月以内に切れるようです。 フィラメントV18へ交換 前回の交換はイオンソース洗浄時の2017.3.24ですので、…
今朝みたら、emissionが切れていました。 フィラメントが切れたようです。 最近Box/Trapがフラフラしていました。 前回のフィラメント交換が2016年6月ですので、１年4ヶ月です。 スリット、微妙に変形している？ フィラメント 切れていました。 V17を使用 （…
イオンソース洗浄をサーモの技術者にお願いしました。 トラップの石英リング、スペーサーが割れていました。 出力あまりあがらず。。。 ４月になってから完全に割れている石英スペーサーを購入。 2017-4-17 サーモ技術者に来訪願い、交換していただいた。 出…
2016.6.28-30 サーモ技術者によるイオン源洗浄および調整 04プレートがかなり汚れていて通電しないほど。 調整およびプレスプリッターの交換をお願いした。
2016.4.14のフィラメント交換後、複数回フィラメントを交換するがBox/Trapがフラフラする。 また、フォーカス調整をしても出力がでない。 Trapを磨く これがトラップ。 ガラスブラシで磨くと綺麗に。 しかし、改善はみられず。 サーモに技術者の来訪を依頼。
2016-4-8 ロータリーポンプ トーマス オイル漏れ 2016-4-12 本体の電源を切り、ロータリーポンプの入れ替え 1 トーマス → 13 スティーブン その後、再起動 2016-4-13 Box Trapが毎秒変わる。Box 0.79-0.83 Trap 0.66-0.73 2017-4-14 フィラメント交換 2017-6…
Box 0.64 Trap0.85 となっていたのと、次週から始まるTC/EAの前に事前に交換しておこうと予備的に交換。 新旧管理責任者の協力。
2015.2.11にフィラメント交換したが感度が約半分なので再交換 V11をはずしてV14をつける。
フィラメント切れていた 交換 V11使用 フィラメント交換前後のBox/Trap比（N２） 2015.1.25 → 2015.2.11（交換後） Box 0.53 → 0.81 Trap 0.97 → 0.69
フィラメントが切れていた。 イオンソースをあけるついでに、以前から切れていたヒーター表示ハロゲンランプ２個も交換。
emission切れたのでフィラメント交換 2013-12-12時点 N2 Box 0.53 Trap 0.96 CO2 Box 0.53 Trap 0.97 2014-1-12 N2 Box 0.76 Trap 0.74 CO2 Box 0.76 Trap 0.74
2013-2-26〜28 サーモ技術者によるイオンソース洗浄 ISODAT3.0 SP0.64にアップデート
