MASS 共同利用 メンテナンス記録

MASS共同利用

MASS共同利用 メンテナンス等の記録

フィラメント交換

PLUS フィラメント交換

先月の法定停電後立ち上げたらBox 0.57 Trap 0.93 とかなり偏っていました。 そろそろかと思っていたら3月6日にフィラメント切れました。 幸い利用者がいなかったので、本日交換。 上部を上からみたところ。 黒こげ! 来年度こそ、イオンソース洗浄をおねが…

Adv フィラメント交換

今週20日の法定点検 全館停電にむけて機械の電源を落とす。 まだ切れていないけど、Advのフィラメント交換を行う。 取り出したところで違和感。 Trap 側の下のケーブルが抜けている!! 2016年にTrap側を外したことがあるが、簡単には外れない場所です。 し…

Adv フィラメントが切れた!

5月5日 真空度 3.0 × e-6 emissionが切れていた!! 前回のフィラメント交換から3ヶ月経っていません!! 前回EA利用者終了から約1週間ですが、連休で人がいない間に切れていました。 真空度が低く、終了後にニードルバルブが完全にしまっていなかったのが…

PLUS フィラメント交換

2019.3.14 朝はemissionついていましたが、夕方ランプがオレンジに。 最近の交換頻度は 2016.2.9 V15使用 2017.3.24 イオンソース洗浄 2018.2.14 V18使用 2019.3.15 V21使用 見事に約1年です。 先月22日に停電前に見た時、Box Trapがフラフラしていました。…

オイル交換とフィラメント交換

24日に法定点検および電気設備の更新に伴う全館停電がありました。 このため、事前に完全停止させておきました。 この機会にメンテナンス。 PLUS オイルリザーバの交換 左: 新しいもの 右: 1年間使用済み それなりには汚れています。 Advantage フィラメ…

PLUS フィラメント交換

現在利用者分析中のPLUSですが、今朝みたらemissionが切れていました。 Box Trap 1/11 0.74 0.76 1/23 0.70 0.80 2/13 0.60 0.89 やはり動き出すと1ヶ月以内に切れるようです。 フィラメントV18へ交換 前回の交換はイオンソース洗浄時の2017.3.24ですので、…

ADVANTAGEフィラメント交換

今朝みたら、emissionが切れていました。 フィラメントが切れたようです。 最近Box/Trapがフラフラしていました。 前回のフィラメント交換が2016年6月ですので、1年4ヶ月です。 スリット、微妙に変形している? フィラメント 切れていました。 V17を使用 (…

PLUSイオンソース洗浄

イオンソース洗浄をサーモの技術者にお願いしました。 トラップの石英リング、スペーサーが割れていました。 出力あまりあがらず。。。 4月になってから完全に割れている石英スペーサーを購入。 2017-4-17 サーモ技術者に来訪願い、交換していただいた。 出…

ADVANTAGEイオン源分解洗浄

2016.6.28-30 サーモ技術者によるイオン源洗浄および調整 04プレートがかなり汚れていて通電しないほど。 調整およびプレスプリッターの交換をお願いした。

トラップを磨く

2016.4.14のフィラメント交換後、複数回フィラメントを交換するがBox/Trapがフラフラする。 また、フォーカス調整をしても出力がでない。 Trapを磨く これがトラップ。 ガラスブラシで磨くと綺麗に。 しかし、改善はみられず。 サーモに技術者の来訪を依頼。

ロータリーポンプ交換後、不調

2016-4-8 ロータリーポンプ トーマス オイル漏れ 2016-4-12 本体の電源を切り、ロータリーポンプの入れ替え 1 トーマス → 13 スティーブン その後、再起動 2016-4-13 Box Trapが毎秒変わる。Box 0.79-0.83 Trap 0.66-0.73 2017-4-14 フィラメント交換 2017-6…

フィラメント交換

Box 0.64 Trap0.85 となっていたのと、次週から始まるTC/EAの前に事前に交換しておこうと予備的に交換。 新旧管理責任者の協力。

ADVANTAGE フィラメント交換

2015.2.11にフィラメント交換したが感度が約半分なので再交換 V11をはずしてV14をつける。

ADVANTAGE フィラメント交換

フィラメント切れていた 交換 V11使用 フィラメント交換前後のBox/Trap比(N2) 2015.1.25 → 2015.2.11(交換後) Box 0.53 → 0.81 Trap 0.97 → 0.69

PLUSフィラメント交換ヒーターのランプ交換

フィラメントが切れていた。 イオンソースをあけるついでに、以前から切れていたヒーター表示ハロゲンランプ2個も交換。

PLUS フィラメント交換

emission切れたのでフィラメント交換 2013-12-12時点 N2 Box 0.53 Trap 0.96 CO2 Box 0.53 Trap 0.97 2014-1-12 N2 Box 0.76 Trap 0.74 CO2 Box 0.76 Trap 0.74

PLUS イオンソース洗浄

2013-2-26〜28 サーモ技術者によるイオンソース洗浄 ISODAT3.0 SP0.64にアップデート

改造等は自己責任でお願いします。