Ion Source Control Unit交換

2010/8/27　CO２のフォーカスが安定しない

2010/10/11　HVのふらつきがみられる

サーモの技術者にみてもらった。（初年度無料）

2010/11/11-12

Ion Source Control Unit交換→HVのふらつきは収まったが、ピークは乱れるまま。

イオン源の分解洗浄→ノイズ未解決

2010/11/20

Heat sink MOS FET交換→ノイズ現れる

Focus quad power supply board（四重極）を取り外しDeltaV Advantage仕様に変更

ノイズが入らないことを確認。