2017-10-30 PLUSニードルバルブ交換 PLUSメンテナンス 利用者の方より、真空度に問題があることの報告。 ニードルバルブの交換。 バルブ潰れていた。 反対側のバルブも問題があったようで、全交換。 その後、真空度もあがりemission ON