Advロータリーポンプ交換、フィラメント交換

HV落ちと関係あるかわからないが、イオンソースを開けて、チェック。

開ける際、左上のボルトだけが緩かった。（残り３つは締まっていた）

真空度は問題なかったけど。

外観を眺めても、どこかが接触しているとか、みてわかる場所でパーツが外れている等は見当たらない。

しかし、フィラメントを外した時、矢印部分のバネがやたらと青光り。

左上の位置にあたる。

バラさずにできる範囲で磨いてエアダスター。

ついでに！？フィラメント交換。

前回ビームは真ん中より左側だったみたい。

まだ2年なんだけど、そろそろイオンソース洗浄？お願いすべきかな。

2/22にロータリーポンプのオイル交換をしたあと、ロータリーの音がおかしく、じわじわとオイルが漏れてきていたので、ロータリーポンプも交換。

問題なく真空引けています。

明日、emission on/off繰り返して確認予定です。